掃一掃
加微信
產(chǎn)品特點
高密度等離子源，等離子效率高，減少制程時間；
專利設(shè)計之特殊等離子電極；
特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計；
處理之均勻性佳；
等離子均勻性佳；
可使用多種制程氣體；
全自動且容易操作；
設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護；
可根據(jù)客戶需求設(shè)計專用特殊規(guī)格之機臺。
相關(guān)解決方案
PCB、FPC/PCB, FPC, etc.
印刷或黏著前之表面粗化或清潔。
項目 | PD06 |
機臺尺寸 | 2000(W)*2100(D)*2626(H)mm |
腔體尺寸 | 1100(W)*1480(D)*1220(H)mm |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼體+鋁腔體門 |
電極 | 水冷電極 |
處理能力 | PCB: 28片(20"*24"),可移動式夾具 |
電源供應(yīng)器 | 10KWatts |
流量計 | 標準四顆(N2, O2, CF4, Ar) 選配一顆 |
壓力計 | 760~10-3torr |
真空幫浦 | 干式幫浦+魯式幫浦 |
冰水機 | |
溫度監(jiān)測系統(tǒng) | |
臺車 |
