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等離子去膠渣機

產(chǎn)品功能

可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等。

詳細介紹

產(chǎn)品特點

高密度等離子源,等離子效率高,減少制程時間;

專利設計之特殊等離子電極;

特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統(tǒng)設計;

處理之均勻性佳;

等離子均勻性佳;

可使用多種制程氣體;

全自動且容易操作;

設備穩(wěn)定高,容易維護;

可根據(jù)客戶需求設計專用特殊規(guī)格之機臺。

相關(guān)解決方案

PCB、FPC/PCB, FPC, etc.

印刷或黏著前之表面粗化或清潔。        

項目

PD06

機臺尺寸

2000(W)*2100(D)*2626(H)mm

腔體尺寸

1100(W)*1480(D)*1220(H)mm

腔體材質(zhì)

不銹鋼體+鋁腔體門

電極

水冷電極

處理能力

PCB: 28片(20"*24"),可移動式夾具

電源供應器

10KWatts

流量計

標準四顆(N2, O2, CF4, Ar) 選配一顆

壓力計

760~10-3torr

真空幫浦

干式幫浦+魯式幫浦

冰水機


溫度監(jiān)測系統(tǒng)


臺車



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